·çÔÆÈýºÅHÐdzɹ¦·¢Éä
âÙÐøËÄÌõ½üµØ¹ìµÀ¹Û²âÕûÌåÓÅÊÆ
½øÒ»²½Ç¿»¯µØÇòϵͳ¶àȦ²ãÊý¾Ý»ñÈ¡ÄÜÁ¦
9ÔÂ27ÈÕ3ʱ28·Ö£¬ÎÒ¹úÔÚ¾ÆÈªÎÀÐÇ·¢ÉäÖÐÐÄʹÓó¤Õ÷ËĺűûÔËÔØ»ð¼ý£¬³É¹¦½«·çÔÆÈýºÅHÐÇ·¢ÉäÉý¿Õ¡£×÷Ϊ·çÔÆ¼«¹ìÆøÏóÎÀÐÇ¡°ÏÂÎçÐÇ¡±¼Ò×åµÄгÉÔ±£¬·çÔÆÈýºÅHÐǵÄÔØºÉÅäÖúÍÐÔÄÜÖ¸±ê¾ù´ï¹ú¼ÊÏȽøË®Æ½£¬½«½ÓÌæÒÑ¡°·þÒÛ¡±½ü8ÄêµÄ·çÔÆÈýºÅDÐÇÔÚ¹ìÒµÎñ£¬ÔÚÈ·±£¼«¹ìÆøÏóÎÀÐÇÈ«Çò³ÉÏñºÍ´óÆø´¹Ö±Ì½²âºËÐÄÒµÎñ»ù´¡ÉÏ£¬Ç¿»¯µØÇòϵͳ¶àȦ²ãÊý¾Ý»ñÈ¡ÄÜÁ¦£¬½øÒ»²½ÌáÉýÈ«Çò¼à²â¡¢È«ÇòÔ¤±¨¡¢È«Çò·þÎñÄÜÁ¦¡£
ÖйúÆøÏó¾Ö·çÔÆÆøÏóÎÀÐǹ¤³Ì×ÜÖ¸»Ó¡¢¸±¾Ö³¤²ÜÏþÖÓÔÚ¾ÆÈªÎÀÐÇ·¢ÉäÖÐÐÄÊÜ·Ãʱ±íʾ£¬½üÄêÀ´ÎÒ¹ú²»¶Ï²ÁÁÁ·çÔÆÆøÏóÎÀÐÇÃûƬ£¬ÒѳÉΪ·þÎñÈ«Çò¿É³ÖÐø·¢Õ¹µÄµä·¶¡£·çÔÆÈýºÅHÐdzɹ¦·¢Éäºó£¬½«âÙÐø·çÔÆÆøÏóÎÀÐÇËÄÌõ½üµØ¹ìµÀ¹Û²âÕûÌåÓÅÊÆ£¬½øÒ»²½ÌáÉýÈ«Çò´óÆø¼°µØÇò¶àȦ²ãϵͳ¾«Ï¸»¯¹Û²âÄÜÁ¦£¬¸üºÃµØ·¢»ÓÆøÏóÎÀÐÇÔÚ¸÷ÁìÓòÓ¦ÓÃÐ§Òæ¡£
¹ú¼ÒÎÀÐÇÆøÏóÖÐÐÄ£¨¹ú¼Ò¿Õ¼äÌìÆø¼à²âÔ¤¾¯ÖÐÐÄ£©Ö÷ÈΡ¢·çÔÆÆøÏóÎÀÐǹ¤³Ì×ÜÉè¼ÆÊ¦Íõ¾¢ËɽéÉÜ£¬ÎÒ¹ú½üµØ¹ìµÀÆøÏóÎÀÐDzÉÓöàÐÇ×éÍø¹Û²â£¬ÒÔ»ñȡȫÇòʱ¿ÕÍêÕû·Ö²¼µÄ̽²â×ÊÁÏ¡£Ä¿Ç°£¬ÖйúÊÇÈ«ÇòΨһͬʱҵÎñÔËÐг¿»è¡¢ÉÏÎç¡¢ÏÂÎç¡¢ÇãбËÄÌõ½üµØ¹ìµÀÃñÓÃÆøÏóÎÀÐǵĹú¼Ò¡£·çÔÆÈýºÅHÐǽ«³Ðµ£¡°ÏÂÎçÐÇ¡±¼à²âÈÎÎñ£¬²¢ÓëÔÚ¹ìµÄ¡°ÉÏÎçÐÇ¡±·çÔÆÈýºÅFÐÇ¡¢¡°ÀèÃ÷ÐÇ¡±·çÔÆÈýºÅEÐÇ¡¢¡°½µË®ÐÇ¡±·çÔÆÈýºÅGÐÇ×éÍø¹Û²â£¬ÒÔ¸ü¼ÓÎȶ¨¡¢¸ü¸ßÖÊÁ¿µÄÔËÐÐ×´Ì¬ÎªÆøÏóºËÐÄÒµÎñÌṩ¼áʵÊý¾Ý²úÆ·Ö§³Å¡£
·çÔÆÈýºÅHÐÇ×°ÔØµÄ9̨ÓÐÐ§ÔØºÉÅäÖúÍÐÔÄÜÖ¸±ê¾ù´ï¹ú¼ÊÏȽøË®Æ½£¬°üÀ¨È«ÐÂÑÐÖÆµÄ¸ß¹âÆ×ÎÂÊÒÆøÌå¼à²âÒÇ¢òÐÍ£¬Éý¼¶¸Ä½øµÄ¹ã½Ç¼«¹â³ÉÏñÒÇ¢òÐÍÒÔ¼°ÖзֱæÂʹâÆ×³ÉÏñÒÇ¡¢ºìÍâ¸ß¹âÆ×´óÆøÌ½²âÒǵÈ7̨¼Ì³ÐÐÔÔØºÉ¡£ÆäÖУ¬¸ß¹âÆ×ÎÂÊÒÆøÌå¼à²âÒÇ¢òÐÍÔÚ¹ú¼ÊÉÏÊ×´ÎʵÏÖ°Ù¹«Àï·ù¿í¸ß¹âÆ×È«ÇòÎÂÊÒÆøÌå¼à²â£¬Í¨¹ý¶Ô½üºìÍâµ½¶Ì²¨ºìÍâµÄËĸöÆ×¶Î´óÆøÎüÊÕÆ×Ïß¾«Ï¸Ì½²â£¬¿É»ñÈ¡´óÆøÖÐÖ÷ÒªÎÂÊÒÆøÌåµÄÖùŨ¶ÈÊý¾Ý£¬ÊµÏÖÈ«Çò·¶Î§Äڸ߾«¶ÈÎÂÊÒÆøÌå̽²â£¬ÎªÈ«ÇòÆøºò±ä»¯¼à²âºÍʵÏÖ¡°Ë«Ì¼¡±Ä¿±êÌṩǿÁ¦Ö§³Å¡£¹ã½Ç¼«¹â³ÉÏñÒÇ¢òÐ;߱¸¼«µØ¹ãÓò¼«¹â³ÉÏñºÍ³Á½µÁ£×ÓŨ¶È̽²âÄÜÁ¦£¬¹âÆ×¸²¸ÇÆ×¶Î140nm¡ª180nm£¬¿É½øÐм«¹âÇ¿¶ÈºÍ·¶Î§Êµ¿öÔ¤±¨£¬ÒÔ¼°¼«Çø³Á½µÁ£×ÓÏÖ±¨£¬ÊµÏִű©Ô¤±¨¡¢´Å²ãÑDZ©Ô¤±¨¡¢¼«ÇøµçÀë²ãÌìÆøÔ¤±¨µÈ¡£
·çÔÆÈýºÅHÐÇͶÈëÒµÎñÔËÐк󣬽«Ìá¹©ÔÆ·øÉäÀà¡¢º£±íÀࡢ½±íÀà¡¢´óÆø²ÎÊýÀà¡¢´óÆø³É·ÖÀà¡¢¿Õ¼äÌìÆøÀàµÈ6´óÀà70¸ö²úÆ·£¬¿É±£ÕÏÆøÏóÁìÓòºËÐÄÒµÎñ£¬Âú×ã¿Õ¼äÌìÆøÔ¤±¨ºÍ±£ÕÏ·þÎñµÄÐèÇó£¬ÌáÉýÎÒ¹úÔÚÈ«ÇòÊýÖµÌìÆøÔ¤±¨¡¢È«ÇòÆøºò±ä»¯¼à²â¡¢Éú̬»·¾³¼à²âºÍ×ۺϷÀÔÖ¼õÔÖµÈÁìÓòµÄÄÜÁ¦Óëˮƽ¡£
½ØÖÁĿǰ£¬ÎÒ¹ú¹²·¢Éä22¿Å·çÔÆÆøÏóÎÀÐÇ£¬9¿ÅÔÚ¹ìÔËÐУ¬³ÖÐøÎªÈ«Çò133¸ö¹ú¼ÒºÍµØÇøÌṩÊý¾Ý²úÆ·ºÍ·þÎñ£¬ÎªÈ«ÃñÔçÆÚÔ¤¾¯Öйú·½°¸ÌṩÓÐÁ¦Ö§³Å¡£



